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洁净室工作台检测方法,这里看!

发布时间:2020-09-01   点击次数:205次

洁净室不像我们日常生活中的房间,它不允许你随便进出,它是将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。

对于洁净室的洁净室洁净程度的维持和控制,除了硬件设备配合投资外,也需要良好的软件--管理制度来配合,方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%。实验数据显示,作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因,人是主要因素。

控制、检测方法:

1、控制工艺设备及工艺的产尘

洁净室内的工艺设备应选料精良,光洁耐磨,那些转动、滑动部位格外重要,要尽可能地减少磨损及产尘。对于那些产尘的工艺过程要尽可能地将其封闭或设置围挡,并辅以排风,形成局部范围相对于洁净室的负压,以限制污染物向洁净室其他区域扩散。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭是必要的制度,也是减少积尘二次飞扬的有效措施。

2、不同级别相邻洁净室间的压差

防止从相邻的洁净度较低区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况,不同级别相邻房间的正压值约为5Pa-10Pa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间门处于关闭情况时,通过缝隙的气流流向是由高级别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区,再流向室外。

这样就可减少由室外向服务区域,服务区域向低级别洁净室,低级别洁净室向高级别洁净室传播空气中的悬浮污染物。正压值并非越大越好,许多理论研究和实践都证明,人员、物料通过门时,即便门两侧关门压差高达50Pa~60Pa,仍难绝对避免随人员、物料向内移动时的携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差时,门敞开后,即便无人走动,在开口断面部分面积上也存在逆向气流,带入空气的污染物。

此外,过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严,门缝气流造成哨声噪声,以及因气流外溢过量而补风量增加,浪费能源和加重各级过滤器的负担。

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